　　華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團隊成員來自清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。

　　華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案，遵循“科技服務(wù)社會”的公司宗旨，持續(xù)進行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國內(nèi)外用戶的信賴。

Universal-300 Plus

　　Universal-300Plus 新型12英寸CMP設(shè)備，采用多種成熟的關(guān)鍵技術(shù)，具備技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、以及多單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點，可滿足不同客戶的工藝需求，具有強大的市場競爭力。

Universal-300 Dual

　　Universal-300 Dual是根據(jù)市場需求，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的新型12英寸CMP設(shè)備，采用Universal-300 Plus的成熟技術(shù)，集成多種終點檢測技術(shù)，具備技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多工藝靈活組合等優(yōu)點，可以極大地滿足不同客戶的工藝需求，具有極強的市場競爭力。

Universal-300

　　Universal-300是我國首臺進入大生產(chǎn)線的12”CMP設(shè)備，該機型技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定，適用于集成電路制造、晶圓基片生產(chǎn)、CMP研磨材料研發(fā)和相關(guān)的科學(xué)研究。

Universal-200 Plus

　　Universal-200 Plus是根據(jù)市場需求，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的新型8英寸C M P設(shè)備，采用Universal-300 Plus的成熟設(shè)計，集成多種終點檢測技術(shù)，具備技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多清洗單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點，可以極大地滿足不同客戶的工藝需求，具有極強的市場競爭力。

CMP工藝開發(fā)服務(wù)

　　華海清科擁有自主研發(fā)的多系列高精密CMP拋光設(shè)備，擁有專業(yè)的技術(shù)團隊、精準(zhǔn)的測量分析儀器，可接受企業(yè)和科研院所委托CMP工藝開發(fā)服務(wù)，為企業(yè)和科研院所提供CMP工藝解決方案，滿足其工藝指標(biāo)要求。

CMP代工服務(wù)

　　華海清科擁有自主研發(fā)的多系列高精密CMP拋光設(shè)備，擁有專業(yè)的技術(shù)團隊、完備的拋光加工車間和精準(zhǔn)的測量分析儀器，可以精確測量金屬/非金屬的膜厚，粗糙度，Dishing, Erosion等?？筛鶕?jù)客戶制程要求提供2英寸到-12英寸的定制化CMP代工服務(wù)。

CMP代工范圍包括：

1. Si/Oxide/W/Cu Patter wafer CMP代工服務(wù)；

2. TSV CMP代工服務(wù)；

3. Wafer reclaim CMP代工服務(wù)；

4. MEMS、藍寶石、砷化鎵等不同材質(zhì)材料的CMP代工服務(wù)。

聯(lián)系方式

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